臥式真空清洗爐

新聞分類(lèi)

聯(lián)系我們

企業(yè)名稱(chēng):鹽城市盛逸化纖機械有限公司

聯(lián)系人:馬先生

電話(huà)/傳真:0515-88669899

手機:13401783222

郵箱:ycsyhqjx@126.com

網(wǎng)址:www.the-techmasters.com

地址:江蘇省鹽城市大縱湖鎮義豐工業(yè)園區

真空清洗爐組成及結構?

您的當前位置: 首 頁(yè) >> 新聞中心 >> 行業(yè)新聞

真空清洗爐組成及結構?

發(fā)布日期:2023-11-09 作者: 點(diǎn)擊:

真空清洗爐組成及結構?

真空清洗爐是一種常用的半導體材料制備與加工設備。其主要作用是在真空環(huán)境中通過(guò)物理或化學(xué)方法將目標物質(zhì)的表面和內部雜質(zhì)、鐵、氧化物等物質(zhì)清除,從而提高器件性能。下面就來(lái)介紹一下真空清洗爐的組成及結構。

一、組成

真空清洗爐主要由以下幾部分組成:

爐體:真空清洗爐的主要部分,由容器、安裝架、加熱器、保溫材料等組成。爐體的選擇需要考慮到加工物料的尺寸、形狀和性質(zhì)等因素。

真空系統:用于實(shí)現真空環(huán)境的產(chǎn)生和維持,由機械泵、分子泵、門(mén)閥、計量?jì)x、實(shí)驗室裝置等部分組成。真空系統的穩定性和抗干擾性對工藝加工的一些要求有很大的影響。

加熱系統:不像常規加熱爐,真空清洗爐的加熱系統必須是灌入爐腔的純氣態(tài)或蒸汽熱源。加熱系統的形式可以是線(xiàn)圈加熱、輻射加熱等。

控制系統:主要用于調節爐體溫度、真空度、保溫時(shí)間等工藝參數以及對加熱系統的控制??刂葡到y的性能會(huì )直接影響到工藝加工的精度和效率。

二、結構

真空清洗爐通常具有以下幾種結構:

水平結構:爐體水平安裝,加工物料放置在腔體內部。換能加熱方式與I型爐相同,但這種結構體積較小,更適合小樣品清洗操作。

立式結構:爐體垂直安裝,加工物料通過(guò)氣缸推進(jìn)裝入爐腔。這種結構占地面積較少,爐腔內空間大,清洗效果具有優(yōu)勢,更適合大樣品的清洗操作。

平板結構:爐體水平安裝,加工物料放置在平板上,通過(guò)電磁脈沖驅動(dòng)平板水平轉動(dòng)。這種結構爐體尺寸小,內部加工結構簡(jiǎn)單,適合小樣品的清洗操作。

以上就是真空清洗爐的組成及結構,對于一些半導體材料加工和制備企業(yè)而言,掌握了這些知識,就能更好地利用真空清洗爐進(jìn)行半導體材料清洗加工的各種操作。


本文網(wǎng)址:http://www.the-techmasters.com/news/601.html

關(guān)鍵詞:真空清洗爐廠(chǎng)家,真空清洗爐價(jià)格,真空清洗爐制造商

最近瀏覽:

  • 在線(xiàn)客服
  • 在線(xiàn)留言
  • 在線(xiàn)咨詢(xún)